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Anlagen zum Helium-Lecktest
Abbildung Funktionsprinzip
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Funktionsprinzip
Das Prinzip der Helium-Dichtheitsprüfung basiert auf dem Nachweis von Helium als Prüfgas, das aus dem Prüfling austritt oder in den Prüfling eindringt. Zur Messung befindet sich der Prüfling grundsätzlich in einer abgeschlossenen Prüfkammer.
Zur Ortung von Leckagen wird der Prüfling mit Prüfgas gefüllt, die Prüfkammer evakuiert und im Schnüffelbetrieb aus der Prüfkammer austretendes Prüfgas in der abgesaugten Luft detektiert. Bei der integralen Dichtheitsprüfung wird im umgekehrten Weg die Prüfkammer mit Prüfgas gefüllt und der Prüfling evakuiert. In der aus dem Prüfling abgesaugten Luft wird austretendes Helium gemessen.
Zum Nachweis des Prüfgases dient ein Sektorfeld-Massenspektrometer, das aus einer Ionenquelle, dem Trennsystem und einem Ionendetektor aufgebaut ist. Der Luftstrom aus der Prüfkammer bzw. dem Prüfling wird in der Ionenquelle ionisiert, fokussiert und als feiner Ionenstrahl in Richtung auf das Trennsystem beschleunigt. Dort werden die Helium-Ionen von den anderen Elementen getrennt und detektiert. Aus der gemessenen Ladungsmenge der Helium-Ionen wird schließlich die Leckrate errechnet.