Kundenspezifische Helium-Dichtheitsprüfanlagen
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| Produktfamilien-Verschlagwortung |
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 Prüftechnik Dichtheitsprüfung Helium-Lecktest Helium-Leckteststände |
| Funktionsprinzip |
| Das Grundprinzip der Helium-Dichtheitsprüfung ist der Nachweis von Helium als Spurgas, das aus dem Bauteil austritt oder in das Bauteil eindringt. Die Messung findet grundsätzlich in einer Prüfkammer statt. Es gibt die unterschiedlichen Verfahren der integralen und der lokalisierenden Prüfung. Die integrale Prüfung erfasst die Summe aller Spurgas-Moleküle, die durch sämtliche Lecks eines Prüfteils auftreten. Diese kann dann mit einem gegebenen Leckagewert verglichen und als IO-Kriterium herangezogen werden. Die Schnüffelprüfung dient zur direkten Lokalisierung von Leckagen, indem eine Schnüffelsonde manuell oder per Roboter über die Oberfläche des Prüfteils geführt wird und dabei austretende Spurgasmoleküle detektiert. Das Prüfgas wird mit einem Massenspektrometer nachgewiesen. Das Sektorfeld-Massenspektrometer besteht aus einer Ionenquelle, dem Trennsystem und einem Ionendetektor. Der angesaugte Molekülstrom wird in der Ionenquelle ionisiert, fokussiert und als feiner Ionenstrahl in Richtung auf das Trennsystem beschleunigt. Das Trennsystem basiert auf einem Magnetfeld, das eine 180°-Kurve bildet, durch die der Ionenstrahl geleitet wird. Durch die unterschiedlichen Verhältnisse der Massen zu den Ladungen bedingt folgen die Ionen unterschiedlichen Bahnradien. So können die Heliumionen mit einer Blende von den anderen Elementen getrennt werden. Ein Detektor misst anschließend die Ladung jedes Ions. Mit Hilfe der gemessen Ladungsmenge wird schließlich die Leckrate errechnet. |