Helium-Dichtheitsprüfsystem MLTS1
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| Produktfamilien-Verschlagwortung |
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 Prüftechnik Dichtheitsprüfung Helium-Lecktest Helium-Leckteststände |
| Funktionsprinzip |
| Die Helium-Dichtheitsprüfung basiert auf dem Nachweis von Helium als Prüfgas. Die Messung findet stets in einer Prüfkammer statt. Bei der Integralprüfung wird das durch eine Leckage in den Prüfling eindringende Helium in der aus dem Bauteil abgesaugten Luft detektiert. Im Schnüffelbetrieb wird in umgekehrter Richtung der Prüfling mit Helium gefüllt und das austretende Helium in der aus der Prüfkammer abgesaugten Luft detektiert. Als Nachweissystem für das Prüfgas dient ein Massenspektrometer. Ein Spektrometer ist aus der Ionenquelle, dem Trennsystem und dem Ionendetektor aufgebaut. In der Ionenquelle wird der angesaugte Luftstrom ionisiert, fokussiert und als feiner Ionenstrahl in Richtung auf das Trennsystem beschleunigt. Das Trennsystem besteht aus einem im 180°-Winkel kurvenförmig angeordneten Magnetfeld, das der Ionenstrahl durchqueren muss. Durch die unterschiedlichen Verhältnisse der Massen zu den Ladungen beschreiben die Ionen unterschiedliche Bahnradien, so dass die Helium-Ionen von den anderen Elementen mit einer Blende getrennt werden können. Die Ladung jedes Ions wird anschließend von einem Detektor registriert. Anhand der gemessen Ladungsmenge wird schließlich die Leckrate errechnet. |