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Helium- und Wasserstoff-Lecksucher LDS3000
Abbildung Funktionsprinzip
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Funktionsprinzip
Grundprinzip der Dichtheitsprüfung ist der Nachweis von aus dem Bauteil austretendem Prüfgas. Hierzu wird bei der integralen Prüfung das zu prüfende Bauteil in einer Vakuumkammer mit Prüfgas beaufschlagt. Das durch Leckagen entweichende Gas wird vom Prüfsystem aus der Vakuumkammer abgesaugt, im Nachweissystem detektiert sowie dessen Menge bestimmt. Abhängig vom späteren Einsatzfall des Bauteils kann auch die Kammer mit Prüfgas geflutet und das Bauteil evakuiert werden. Zur Lokalisierung der Leckagen wird der Prüfling mit Prüfgas befüllt und von außen mit einer Schnüffelsonde abgefahren. Die angesaugte Luft wird dabei im Nachweissystem auf die Anteile von Helium oder Wasserstoff untersucht. Zur Messung der Prüfgasmenge dient ein 180°-Sektorfeld-Massenspektrometer, das aus der Ionenquelle, dem Trennsystem und einem Ionendetektor besteht. Für die Funktion des Spektrometers ist ein Hochvakuum am Sensor Voraussetzung. In der Ionenquelle wird der angesaugte Luftstrom ionisiert, fokussiert und als feiner Ionenstrahl in Richtung auf das Trennsystem beschleunigt. Im Trennsystem werden die Ionen auf eine kreisförmige Flugbahn gezwungen und bewegen sich entsprechend dem Verhältnis von Masse zu Ladung auf unterschiedlichen Bahnradien. Durch die unterschiedlichen Flugbahnen lassen sich die Helium- oder Wasserstoffionen mit einer Blende von den anderen Elementen trennen. Die Ionen werden im Detektor über ihre Ladung registriert und mit Hilfe der gemessenen Ladungsmenge die Leckrate errechnet.