Helium-Leckdetektor Modul1000
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| Produktfamilien-Verschlagwortung |
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 Prüftechnik Dichtheitsprüfung Helium-Lecktest Helium-Lecktestsysteme |
| Funktionsprinzip |
| Grundprinzip der Helium-Dichtheitsprüfung ist der Nachweis von aus dem Bauteil austretendem Prüfgas. Hierzu wird bei der integralen Prüfung der Prüfling in einer Vakuumkammer mit Helium beaufschlagt. Durch Leckagen entweichendes Helium wird vom Prüfsystem aus der Vakuumkammer abgesaugt, im Nachweissystem detektiert sowie dessen Menge bestimmt. Abhängig vom späteren Einsatzfall des Bauteils kann auch die Kammer mit Helium geflutet und das Bauteil evakuiert werden. Zur Lokalisierung der Leckagen wird der Prüfling mit Helium befüllt und von außen mit einer Schnüffelsonde abgefahren. Die angesaugte Luft wird dabei im Nachweissystem auf die Anteile von Helium untersucht. Zur Messung der Heliummenge dient ein Massenspektrometer, das aus der Ionenquelle, dem Trennsystem und einem Ionendetektor besteht. Für die Funktion des Spektrometers ist ein Hochvakuum am Sensor Voraussetzung. In der Ionenquelle wird der angesaugte Luftstrom ionisiert, fokussiert und als feiner Ionenstrahl in Richtung auf das Trennsystem beschleunigt. Im Trennsystem werden die Ionen auf eine kreisförmige Flugbahn gezwungen und bewegen sich entsprechend dem Verhältnis von Masse zu Ladung auf unterschiedlichen Bahnradien. Durch die unterschiedlichen Flugbahnen lassen sich die Heliumionen mit einer Blende von den anderen Elementen trennen. Die Ionen werden im Detektor über ihre Ladung registriert und über die gemessene Ladungsmenge die Leckrate errechnet. |