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Universalprüfstände zur Helium-Vakuumprüfung
Abbildung Funktionsprinzip
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Funktionsprinzip
Helium-Dichtheitsprüfungen basieren auf dem Nachweis von aus einem Bauteil austretendem Helium in einer Prüfkammer. Nach der Kalibrierung mit einem Testleck kann die Gesamtleckrate quantitativ bestimmt werden. Die Beschickung der Prüfanlage kann sowohl manuell als auch automatisch erfolgen. Der Prüfling wird werkstückspezifisch adaptiert, um ihn mit Prüfgas beaufschlagen zu können. Mittels Vakuumpumpen wird in der Analyse- und Prüfkammer ein Hochvakuum erzeugt. Durch Leckagen austretende Prüfgas-Moleküle werden detektiert. Mit dem angeschlossenen Massenspektrometer lässt sich die Konzentration des Heliums innerhalb der Kammer messen. Die errechnete Leckrate wird mit dem vorgegebenen Sollwert verglichen und daraufhin ein Prüfentscheid gefällt.